实验室超纯水设备使用中标准配置是什么?
电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。那么,实验室超纯水设备使用中标准配置是什么?
1.一体式PPF精密滤芯:过滤泥沙、颗粒物;
2.一体式活性炭滤芯:吸附有机物、余氯 ;
3.反渗透膜装置:第一步脱盐和去除自来水中的细菌和有机物;
4.压力纯水桶:存放反渗透纯水,同时提供取水动力;
5.离子交换柱:第二步脱盐,电阻达10兆欧以上;
6.核级超纯化柱:第三步深度脱盐,电阻达18.2兆欧以上;
7.终端1微米微孔过滤:过滤细小颗粒物质;
8.超纯水专用0.45+0.2微米孔径终端过滤器(选配):去除细菌及杂质;
9.电子元器件等:提供各种控制功能。